8-inch dual coil induction furnace with two models at the same time!

2022年7月 恒普科技同时推出2款8英寸双线圈感应晶体生长炉,新推出的2款全新炉型,对应SIC感应晶体生长炉在8英寸或更大尺寸上的劣势,也积极对应行业客户的使用习惯和经验延续。

在碳化硅8英寸时代到来之际,随着坩埚的直径增长,感应线圈只能加热坩埚的表面,不同位置的径向温度梯度都会随之增大,而这样的参数变化不适合大直径的晶体生长。恒普科技在6月推出了新一代2.0版SIC电阻晶体生长炉,以【轴径分离】+【新工艺】为核心技术,更优化解决晶体的长大、长快、长厚的行业需求。这就突显SIC感应晶体生长炉的技术落后,为了对应行业客户的使用惯性及Know-How的延续,恒普科技推出了双线圈感应晶体生长炉,并且同时推出石英管(双线圈外置)和金属壳(双线圈内置)两款全新炉型。

双线圈的技术并不是新的技术路线,但是双线圈的相互干扰,特别是在坩埚中的发热互相干扰,对工艺调整存在很大难度,物质流传输及通道沉积都存在难点,为了克服8英寸感应晶体生长炉的问题点,恒普科技解决了双线圈对石墨坩埚的温度上下无法分离,做到了【准轴径分离】,并将技术同时使用在了两种炉型上,满足更多客户的使用习惯。

核心技术

• 坩埚区域温度分离  (相对分离)

• 采用特殊定制石墨硬毡

• 双水平式线圈

• 独特的二次发热体

• 坩埚与热场分离

• 物质流的传输导流控制

注:以上功能不是2款炉型都有。

产品&技术特点

一、SIC石英管双线圈(外置)感应晶体生长炉

技术特点:

• 坩埚区域温度分离

• 方便原工艺过渡

• 水平螺旋线圈,提高磁场平衡与双线圈匹配

二、SIC金属壳双线圈(内置)感应晶体生长炉

技术特点:

• 炉下方向出料,解决8英寸坩埚上取料的不便

• 出料时,坩埚与热场自动分离,提高炉次的重复性

• 独特的二次发热体

• 优化内置线圈绝缘

• 横向多点测温

• 采用特殊定制石墨硬毡