| 产品型号 |  240-S 了解详情 |  480-S 了解详情 |  240-Pro 了解详情 |  480-Pro 了解详情 |  720-Plus 了解详情 |
| 控温区域 | 2区 | 2区 | 6区 | 6区 | 4区 |
| 进气方式 | 分压阀进气 | 分压阀进气 | 内外分离气 | 内外分离进气 | 内外分离进气 |
| 特殊工艺 | 无 | 无 | 逆流工艺 | 逆流、平流工艺 | 逆流工艺 |
| 处理箱尺寸(cm) | 40/40/150 | 48/48/200 | 40/40/150 | 47.5/53/200 | 53/68/203 |
| 料板数量(pcs) | 32 | 40 | 32 | 40 | 48 |
| 最高温度(°C) | 1600 | 1600 | 1600 | 1600 | 1600 |
| 使用温度(°C) | 1550 | 1550 | 1550 | 1550 | 1550 |
| 温度分布(°C) | 幅值≤6 | 幅值≤8 | 幅值≤2(±1) | 幅值≤2(±1) | 幅值≤8 |
| 极限真空(Pa) | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.7 |
| 电源容量(KVA) | 150 | 200 | 150 | 220 | 240 |
| 使用气体 | N2,Ar | N2,Ar | N2,Ar | N2,Ar | N2,Ar |
| 场地要求(m³) | 3.5×4×2.9 | 3.6×4.6×3.1 | 3.5×4×2.9 | 3.6×4.8×3.2 | 3.6×4.8×2.9 |