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籽晶热压炉
籽晶粘贴工艺是影响晶体生长的关键工艺之一,籽晶粘贴的品质将直接影响晶体生长的品质。恒普科技根据籽晶粘贴工艺的特性而研发了专门的辅助设备。其可以有效减少籽晶粘贴过程中产生的各种缺陷,从而提高籽晶粘贴的良率和晶体的最终品质。
产品优势
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■ 水平式
- 工作温度:室温到500℃
- 压力控制方式:配重块、气缸、丝缸传动
先进技术
轴径分离技术
注:单一炉型不一定涉及全部技术,仅供参考,详情欢迎致电恒普
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【轴径分离】技术应用于电阻式长晶炉彻底解决轴径方向上的温度耦合现象。调整轴向温度梯度,提升晶体生长速度,径向温度梯度也随之发生改变,从而导致晶体生长界面的凹凸变化、应力增加,使得晶体缺陷增加。电阻式长晶炉通过不同区域的电阻发热,达到籽晶区域和源料区域的温度分别控制,达到轴向温度梯度与径向温度梯度分离,从而稳定晶体生长面型的同时能够大幅度提高晶体生长速度。
工具包
先进材料
恒普为客户提供长晶材料的一站式解决方案
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碳化钽涂层
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碳化硅涂层
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多孔石墨
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保温毡等工具
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籽晶粘贴工艺是影响晶体生长的关键工艺之一,籽晶粘贴的品质将直接影响晶体生长的品质。恒普科技根据籽晶粘贴工艺的特性而研发了专门的辅助设备。其可以有效减少籽晶粘贴过程中产生的各种缺陷,从而提高籽晶粘贴的良率和晶体的最终品质。
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