感应炉 SICG8-SL07D

产品优势

石英管双线圈感应晶体生长炉

  • 坩埚区域温度分离
  • 方便原工艺过渡
  • 水平螺旋线圈,提高磁场平衡与双线圈匹配

金属壳双线圈感应晶体生长炉

  • 炉下放下出料,解决8英寸坩埚上取料的不便
  • 出料时,坩埚与热场自动分离,提高炉次的重复性
  • 独特的二次发热体
  • 优化内置线圈绝缘
  • 横向多点测温
  • 提高炉采用特殊定制石墨硬毡

先进技术

轴径分离技术

注:单一炉型不一定涉及全部技术,仅供参考,详情欢迎致电恒普

【轴径分离】技术应用于电阻式长晶炉彻底解决轴径方向上的温度耦合现象。调整轴向温度梯度,提升晶体生长速度,径向温度梯度也随之发生改变,从而导致晶体生长界面的凹凸变化、应力增加,使得晶体缺陷增加。电阻式长晶炉通过不同区域的电阻发热,达到籽晶区域和源料区域的温度分别控制,达到轴向温度梯度与径向温度梯度分离,从而稳定晶体生长面型的同时能够大幅度提高晶体生长速度。

工具包

先进材料

恒普为客户提供长晶材料的一站式解决方案

碳化钽涂层

碳化硅涂层

多孔石墨

保温毡等工具

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在碳化硅8英寸时代到来之际,随着坩埚的直径增长,感应线圈只能加热坩埚的表面,不同位置的径向温度梯度都会随之增大,而这样的参数变化不适合大直径的晶体生长。为了对应行业客户的使用惯性及Know-How的延续,恒普科技解决了双线圈对石墨坩埚的温度上下无法分离,做到了【准轴径分离】,并将技术同时使用在了两种炉型上,满足更多客户的使用习惯。

感应炉 SICG8-SL07D
  • 长晶方式PVT
  • 加热平台感应加热
  • 长晶速度0.2-0.3mm/h
  • 长晶尺寸6 inch/8 inch
  • 长晶高度30-40mm
  • 线圈类型单/双线圈