感应炉 SICG8-SL07D
在碳化硅8英寸时代到来之际,随着坩埚的直径增长,感应线圈只能加热坩埚的表面,不同位置的径向温度梯度都会随之增大,而这样的参数变化不适合大直径的晶体生长。为了对应行业客户的使用惯性及Know-How的延续,恒普科技解决了双线圈对石墨坩埚的温度上下无法分离,做到了【准轴径分离】,并将技术同时使用在了两种炉型上,满足更多客户的使用习惯。
产品优势
石英管双线圈感应晶体生长炉
- 坩埚区域温度分离
- 方便原工艺过渡
- 水平螺旋线圈,提高磁场平衡与双线圈匹配
金属壳双线圈感应晶体生长炉
- 炉下放下出料,解决8英寸坩埚上取料的不便
- 出料时,坩埚与热场自动分离,提高炉次的重复性
- 独特的二次发热体
- 优化内置线圈绝缘
- 横向多点测温
- 提高炉采用特殊定制石墨硬毡
先进技术
轴径分离技术
注:单一炉型不一定涉及全部技术,仅供参考,详情欢迎致电恒普
【轴径分离】技术应用于电阻式长晶炉彻底解决轴径方向上的温度耦合现象。调整轴向温度梯度,提升晶体生长速度,径向温度梯度也随之发生改变,从而导致晶体生长界面的凹凸变化、应力增加,使得晶体缺陷增加。电阻式长晶炉通过不同区域的电阻发热,达到籽晶区域和源料区域的温度分别控制,达到轴向温度梯度与径向温度梯度分离,从而稳定晶体生长面型的同时能够大幅度提高晶体生长速度。
工具包
先进材料
恒普为客户提供长晶材料的一站式解决方案
碳化钽涂层
碳化硅涂层
多孔石墨
保温毡等工具
联系我们
华北、华东/海外事业部:邹先生
手机:13567416699
邮箱:xiangwei.zou@hiper
华南/华中事业部:贺先生
手机:17753521977
邮箱:hyn@hiper.cn
如遇任何问题,恒普欢迎您的致电!
在碳化硅8英寸时代到来之际,随着坩埚的直径增长,感应线圈只能加热坩埚的表面,不同位置的径向温度梯度都会随之增大,而这样的参数变化不适合大直径的晶体生长。为了对应行业客户的使用惯性及Know-How的延续,恒普科技解决了双线圈对石墨坩埚的温度上下无法分离,做到了【准轴径分离】,并将技术同时使用在了两种炉型上,满足更多客户的使用习惯。
- 长晶方式PVT
- 加热平台感应加热
- 长晶速度0.2-0.3mm/h
- 长晶尺寸6 inch/8 inch
- 长晶高度30-40mm
- 线圈类型单/双线圈