感应炉 SICG6-S01
单石英管SiC长晶炉，拥有简易的结构，更小的设计空间，合理的冷却时间。
产品优势
AGV智能料车进料系统
- 有效减少人力成本。
- 提高上料精度。
全新逆流工艺
- 实现压力精度控制±0.3Pa
注：即将推出
先进技术
轴径分离技术
注：单一炉型不一定涉及全部技术，仅供参考，详情欢迎致电恒普
【轴径分离】技术应用于电阻式长晶炉彻底解决轴径方向上的温度耦合现象。调整轴向温度梯度，提升晶体生长速度，径向温度梯度也随之发生改变，从而导致晶体生长界面的凹凸变化、应力增加，使得晶体缺陷增加。电阻式长晶炉通过不同区域的电阻发热，达到籽晶区域和源料区域的温度分别控制，达到轴向温度梯度与径向温度梯度分离，从而稳定晶体生长面型的同时能够大幅度提高晶体生长速度。
工具包
先进材料
恒普为客户提供长晶材料的一站式解决方案
碳化钽涂层
碳化硅涂层
多孔石墨
保温毡等工具
联系我们
华北、华东/海外事业部：邹先生
手机：13567416699
邮箱：xiangwei.zou@hiper
华南/华中事业部：贺先生
手机：17753521977
邮箱：hyn@hiper.cn
如遇任何问题，恒普欢迎您的致电！
单石英管SiC长晶炉，拥有简易的结构，更小的设计空间，合理的冷却时间。
- 长晶方式PVT
- 加热平台感应加热
- 长晶速度0.1-0.2mm/h
- 长晶尺寸6 inch
- 长晶高度15-25mm
- 线圈类型N/A