电阻炉 SRCG8-M07
电阻热场平台是目前先进的PVT晶体生长平台。感应加热由于电磁感应作用，轴向温度和径向温度存在耦合现象，无法兼顾长晶速度和长晶质量。电阻热场生长平台，可对轴向温度和径向温度分别进行精确控制，有利于实现大尺寸晶体生长，并提高晶体生长速度，是未来高品质8英寸碳化硅晶体生长的解决方案之一。
产品优势
内外分离测温组件
- 整个晶体生长周期全程采用温度闭环控制
- 内外分离，大幅度提高了温度测量的抗干扰性
多区控温设计
- 减少热应力产生的缺陷
- 实现更灵活的温度梯度调整
- 对源料温度区域与籽晶温度区域单独控制
先进技术
轴径分离技术
注：单一炉型不一定涉及全部技术，仅供参考，详情欢迎致电恒普
【轴径分离】技术应用于电阻式长晶炉彻底解决轴径方向上的温度耦合现象。调整轴向温度梯度，提升晶体生长速度，径向温度梯度也随之发生改变，从而导致晶体生长界面的凹凸变化、应力增加，使得晶体缺陷增加。电阻式长晶炉通过不同区域的电阻发热，达到籽晶区域和源料区域的温度分别控制，达到轴向温度梯度与径向温度梯度分离，从而稳定晶体生长面型的同时能够大幅度提高晶体生长速度。
工具包
先进材料
恒普为客户提供长晶材料的一站式解决方案
碳化钽涂层
碳化硅涂层
多孔石墨
保温毡等工具
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电阻热场平台是目前先进的PVT晶体生长平台。感应加热由于电磁感应作用，轴向温度和径向温度存在耦合现象，无法兼顾长晶速度和长晶质量。电阻热场生长平台，可对轴向温度和径向温度分别进行精确控制，有利于实现大尺寸晶体生长，并提高晶体生长速度，是未来高品质8英寸碳化硅晶体生长的解决方案之一。
- 长晶方式PVT
- 加热平台电阻加热
- 长晶速度0.2-0.3mm/h
- 长晶尺寸6 inch/8 inch
- 长晶高度30-40mm
- 线圈类型N/A