感应炉 SICG8-SL07

产品优势

整机全铝

无籽晶托

  • 减少应力产生的缺陷
  • 实现更灵活的温度梯度调整

固定式水平线圈

  • 提高磁场均衡对称
  • 对籽晶区的温场做到更精细的调整,使温度更均衡

【一次传质】热场

  • 多孔石墨筒,防止重结晶引起的缺陷

先进技术

轴径分离技术

注:单一炉型不一定涉及全部技术,仅供参考,详情欢迎致电恒普

【轴径分离】技术应用于电阻式长晶炉彻底解决轴径方向上的温度耦合现象。调整轴向温度梯度,提升晶体生长速度,径向温度梯度也随之发生改变,从而导致晶体生长界面的凹凸变化、应力增加,使得晶体缺陷增加。电阻式长晶炉通过不同区域的电阻发热,达到籽晶区域和源料区域的温度分别控制,达到轴向温度梯度与径向温度梯度分离,从而稳定晶体生长面型的同时能够大幅度提高晶体生长速度。

工具包

先进材料

恒普为客户提供长晶材料的一站式解决方案

碳化钽涂层

碳化硅涂层

多孔石墨

保温毡等工具

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水平线圈式⻓晶炉采用水平线圈及整机全铝设计,使磁场均衡对称,与【一次传质】新工艺完美匹配,达到最优化。

感应炉 SICG8-SL07
  • 长晶方式PVT
  • 加热平台感应加热
  • 长晶速度0.2-0.3mm/h
  • 长晶尺寸6 inch/8 inch
  • 长晶高度30-40mm
  • 线圈类型单/双线圈