感应炉 SICG8-SL07
水平线圈式⻓晶炉采用水平线圈及整机全铝设计，使磁场均衡对称，与【一次传质】新工艺完美匹配，达到最优化。
产品优势
整机全铝
无籽晶托
- 减少应力产生的缺陷
- 实现更灵活的温度梯度调整
固定式水平线圈
- 提高磁场均衡对称
- 对籽晶区的温场做到更精细的调整，使温度更均衡
【一次传质】热场
- 多孔石墨筒，防止重结晶引起的缺陷
先进技术
轴径分离技术
注：单一炉型不一定涉及全部技术，仅供参考，详情欢迎致电恒普
【轴径分离】技术应用于电阻式长晶炉彻底解决轴径方向上的温度耦合现象。调整轴向温度梯度，提升晶体生长速度，径向温度梯度也随之发生改变，从而导致晶体生长界面的凹凸变化、应力增加，使得晶体缺陷增加。电阻式长晶炉通过不同区域的电阻发热，达到籽晶区域和源料区域的温度分别控制，达到轴向温度梯度与径向温度梯度分离，从而稳定晶体生长面型的同时能够大幅度提高晶体生长速度。
工具包
先进材料
恒普为客户提供长晶材料的一站式解决方案
碳化钽涂层
碳化硅涂层
多孔石墨
保温毡等工具
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水平线圈式⻓晶炉采用水平线圈及整机全铝设计，使磁场均衡对称，与【一次传质】新工艺完美匹配，达到最优化。
- 长晶方式PVT
- 加热平台感应加热
- 长晶速度0.2-0.3mm/h
- 长晶尺寸6 inch/8 inch
- 长晶高度30-40mm
- 线圈类型单/双线圈