探索碳化硅生长新未来

恒普资讯

新一代sic晶体生长用材料

随着导电型SiC衬底的逐渐量产,对工艺的稳定性、可重复性都提出更高的要求。特别是缺陷的控制,炉内热场微小的调整 […]

2023-05-04
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