探索碳化硅生长新未来

恒普资讯

突破sic生长关键核心材料

碳化硅晶体生长时,晶体轴向中心与边缘的生长界面的“环境”不同,使边缘的晶体应力徒增,且晶体边缘由于石墨档环"碳 […]