随着导电型SiC衬底的逐渐量产,对工艺的稳定性、可重复性都提出更高的要求。特别是缺陷的控制,炉内热场微小的调整 […]
行业领先的涂层工艺
行业领先的大孔隙率
行业领先的长晶材料
行业领先的高纯碳化硅料
固定线圈,工艺稳定
满足大尺寸晶体生长,温度精确控制
≤±1℃温度分布,更大处理箱,逆流、平流工艺
恒普推出的晶体生⻓设备可根据用户需求,实现40多种不同功能结构选项,满足各种不同晶体生⻓场景。同时恒普科技为用户提供全套所需工具包,为用户提供全系列解决方案。 在碳化硅同质外延设备领域,恒普现已量产水平式外延设备,同时即将推出垂直式外延设备。
恒普服务部门具有10多年售后服务经验,是一个具备优秀专业素质和先进服务理念的团队,随时待命,确保恒普交付的每一台设备正常运行。 在设备到达客户现场之后,进行安装和调试,确保设备顺利运行,并进行现场操作维护培训。在保修期内对设备定期进行跟踪维护,建立服务档案。对设备出现的问题在第一时间内进行回复,并对客户的提出的需求及时跟进。