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石墨
钼
处理箱尺寸(cm)
20×20×20
20×20×20
料板数量(pcs)
4
4
最高温度(°C)
1600
1500
使用温度(°C)
1500
1450
温度分布(°C)
幅值≤4(±2)
幅值≤4(±2)
极限真空(Pa)
20
0.009
电源容量(KVA)
30
35
使用气体
N2,Ar
N2,Ar,H2(选配)
场地要求(m³)
1.4×0.9×1.77
1.4×0.9×1.77