基本介绍
恒普可为各类组件、载体提供专门的碳化钽（TaC）涂层。通过恒普行业领先的涂层工艺，可以使得碳化钽（TaC）涂层获得高纯度、高温稳定性和高化学耐受性，可改善SIC/GAN晶体和EPI层的产品质量，并延长关键反应堆成分的寿命。采用碳化钽TaC涂层, 是解决边缘问题，提高晶体生长质量，是“长快、长厚、长大”的核心技术方向之一。为了推动行业技术发展，解决关键材料“进口”依赖，恒普突破性解决了碳化钽涂层技术（CVD），达到了国际先进水平。
主要特征
超高纯度
超高纯度能有效避免杂质和污染的产生
高温稳定性
2500°C内高温稳定性，可实现超高温操作
化学环境耐受性
对H2、NH3、SiH4和Si具有耐受性，
能在恶劣的化学环境中提供有效保护
长寿命不脱落
涂层与石墨本体的强结合力可以保证长周期
内涂层无脱落
抗热震性
抗热震性可以有效加快操作周期
严格的尺寸公差
碳化钽涂层覆盖满足严格的尺寸公差
参数表
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 密度 | 14.3 （gm/cm³） |
| 比辐射率 | 0.3 |
| 热膨胀系数（×10-6/K) | 6.3（×10-6/K) |
| 硬度（HK) | 2000 |
| 电阻（Ohm-cm） | 1×10-5（Ohm-cm） |
| 热稳定性 | ＜2500℃ |
| 石墨尺寸变化 | -10~-20um（参考值） |
| 涂层厚度 | ≥20um 典型值（35um±10um） |
| 以上为典型值 |
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