感应炉 SICG6-M07
水冷夹套式金属腔体SiC长晶炉，线圈与热场没有间隔，发热效率高且改变热场灵活。采用固定线圈，坩埚移动的方式来达成工艺的稳定执行。在满足了长晶需求的同时，更低的制造成本，使其在长晶效果和设备成本上达到一个较高的性价比。
产品优势
6英寸与8英寸可调
- 采用可置换线圈设计，炉壳同时满足6英寸及8英寸设计，可以在生产发展中实现设备的技术提升
下炉盖托盘升降
- 可有效降低温度衰减率
- 校准操作简单、便捷
先进技术
轴径分离技术
注：单一炉型不一定涉及全部技术，仅供参考，详情欢迎致电恒普
【轴径分离】技术应用于电阻式长晶炉彻底解决轴径方向上的温度耦合现象。调整轴向温度梯度，提升晶体生长速度，径向温度梯度也随之发生改变，从而导致晶体生长界面的凹凸变化、应力增加，使得晶体缺陷增加。电阻式长晶炉通过不同区域的电阻发热，达到籽晶区域和源料区域的温度分别控制，达到轴向温度梯度与径向温度梯度分离，从而稳定晶体生长面型的同时能够大幅度提高晶体生长速度。
工具包
先进材料
恒普为客户提供长晶材料的一站式解决方案
碳化钽涂层
碳化硅涂层
多孔石墨
保温毡等工具
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水冷夹套式金属腔体SiC长晶炉，线圈与热场没有间隔，发热效率高且改变热场灵活。采用固定线圈，坩埚移动的方式来达成工艺的稳定执行。在满足了长晶需求的同时，更低的制造成本，使其在长晶效果和设备成本上达到一个较高的性价比。
- 长晶方式PVT
- 加热平台感应加热
- 长晶速度0.1-0.2mm/h
- 长晶尺寸6 inch
- 长晶高度15-25mm
- 线圈类型N/A