感应炉 SICG6-D01
双石英管SiC长晶炉，相较于单石英管长晶炉，在多方面有着不同的机械结构设计，夹层式水冷散热系统，减少额外的排风系统，对工作环境友好。紧凑立体化的设计，方便布局，大幅提高厂房利用率。
产品优势
一体化设计
采用集成化设计，对冷却水，炉体，泵组管道，电源进行整体化设计，从而使占地面积缩小了30%。
顶盖压环设计
- 解决双石英管易碎问题
- 降低生产及售后时间成本
防爆外管
- 完全避免了外管爆裂
- 保证生产安全
先进技术
轴径分离技术
注：单一炉型不一定涉及全部技术，仅供参考，详情欢迎致电恒普
【轴径分离】技术应用于电阻式长晶炉彻底解决轴径方向上的温度耦合现象。调整轴向温度梯度，提升晶体生长速度，径向温度梯度也随之发生改变，从而导致晶体生长界面的凹凸变化、应力增加，使得晶体缺陷增加。电阻式长晶炉通过不同区域的电阻发热，达到籽晶区域和源料区域的温度分别控制，达到轴向温度梯度与径向温度梯度分离，从而稳定晶体生长面型的同时能够大幅度提高晶体生长速度。
工具包
先进材料
恒普为客户提供长晶材料的一站式解决方案
碳化钽涂层
碳化硅涂层
多孔石墨
保温毡等工具
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双石英管SiC长晶炉，相较于单石英管长晶炉，在多方面有着不同的机械结构设计，夹层式水冷散热系统，减少额外的排风系统，对工作环境友好。紧凑立体化的设计，方便布局，大幅提高厂房利用率。
- 长晶方式PVT
- 加热平台感应加热
- 长晶速度0.1-0.2mm/h
- 长晶尺寸6 inch
- 长晶高度15-25mm
- 线圈类型N/A